物理作用 等离子体中的大量离子、激収态分子、自由基等多种活性粒子，作用到固体样品表面，清除了表面原有的污染物和杂质，而且会产生刻蚀作用，将样品表面变粗糙，形成许多微细坑洼，增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。
等离子表面处理技术是指通过等离子体中的高能粒子对材料表面进行轰击，使表面物质降解，增加表面粗糙度，若等离子体中有其他活性粒子，如氧等离子，则可与表面物质发生反应而使表面活化的一种方法。等离子体处理技术可适用于纤维、塑料、橡胶以及复合材料的表面处理。
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